我国平板显示器件研究又获新成果
时间:2006-12-31
2006年12月21日,由长春应化所承担的吉林省科技发展计划项目“有机TFT器件研究”通过吉林省科技厅组织的专家验收。
平板显示技术在国民经济中占有重要位置,是国际高技术竞争的一个焦点。有机TFT(OTFT,Organic Thin-Film Transistor)即有机薄膜晶体管,它的作用与非晶硅TFT相同 ,是平板显示的关键技术。国际上开展OTFT材料与器件研究已近20年,其鲜明的技术特点是加工温度低于200oC,不但是平板显示的一个关键技术,而且也是发展新概 念柔性显示和塑料IC的关键技术,国际大公司和著名研究机构纷纷投入研发。但是,如何设计与加工高功能的器件兼具廉价加工工艺,如何设计与合成兼具高迁移率和优异环境稳 定性的有机半导体材料,仍然是该领域目前迫切需要解决的关键问题。长春应化所于2002年在省科技厅的支持下承担了吉林省科技发展计划项目“有机TFT器件研究”,利用在有机 光电材料研发上的优势,经过5年的不懈努力,在器件加工工艺、有机薄膜制备和材料合成关键环节上取得突破,发展出了具有容易集成加工和高功能性优点的系统技术和新型有机 晶体管器件。为我国OTFT平板显示技术的进一步开发拓展出空间。
该项目针对OTFT综合性能提高和OTFT-LCD集成的需要,采用有机半导体金属酞菁和新型器件结构,对提高迁移率、稳定性和集成加工工艺进行了有成效的探索和研究。研制出 全光刻工艺制备的积累型OTFT器件,迁移率达到0.2cm2/Vs,开关电流比达到107,工作寿命超过5千个小时。综合性能指标超过国际上报道的同类光刻工艺O TFT的性能,是全光刻工艺制备的累积型OTFT国际领先水平。并制备出了3英寸200×160和64×64象素的OTFT-LCD原型器件。
该项目注重发展自主知识产权。在有机半导体材料、绝缘栅材料和OTFT器件结构、集成器件和集成加工工艺方面取得系统的知识产权。