产品简介：设备集成多种成膜工艺，如：真空热蒸发、湿法成膜、原子层沉积、磁控溅射、电子束沉积等，用于制备封装各类 OLEDs。系统优化有机 / 无机薄膜生长工艺二十多年，设计新型蒸发源、开发超快响应监控系统，成功研制出可 4G 远程控制的全自动柔性 OLED 面板制备及封装设备、全自动柔性 OLED 面板中试研发设备，可实现有机 / 无机多组分薄膜精密生长、薄膜性能原位检测，申请发明专利 6 项、获授权 3 项。产品适用于不同规格 OLED 基元器件研发、新型有机光电材料表征、OLED 面板中试研发。

技术指标：温度监测精度：±0.5 ℃、过冲温度：≤1 ℃；衬底控温精度: 1℃；生长速率监测精度：0.001 nm/s；薄膜生长均匀性误差：小于 ±1%；掺杂精度：0.1 wt%；面板尺寸：多款设备，最大 200*200 mm²（可订制）。

生产能力：根据市场需求，OLED 制备封装设备目前年产 2-3 台。