仪器简介

生产制造商：JEOL

分辨率：线分辨率：0.14 nm，点分辨率：0.27 nm，STEM HAADF/BF 分辨率：0.2 nm

加速电压：最高200 kV

电子枪：冷场发射电子枪

冷冻传输样品杆：Gatan698冷冻传输样品杆，倾斜±80°

单倾样品杆：JEOL标准样品杆，倾斜±20°

EDS：Si漂移电制冷探头，可探测元素Be~U，分辨率：129 eV（Mn kα）

EELS：可配合STEM系统进行元素Mapping，能量分辨率：0.3 eV

自动进样系统

数字化成像系统：4K x 4K CMOS成像系统Gatan Oneview IS相机一套

应用范围

形貌分析：获取非晶材料的质厚衬度像，多晶材料的衍射衬度像和单晶薄膜的相位衬度像(原子像)

结构分析：研究电子衍射，原子位错，孪晶类型，晶界结构

成分分析：小到纳米尺度的微区或晶粒的成分分析