仪器简介

生产制造商：蔡司

利用聚焦电子束与样品表面作用产生的二次电子、背散射电子等物理信号得到表面形貌图像以及样品相关信息。

分辨率：0.8-1.0 nm （15 kV），1.2-2.0 nm（1 kV）

加速电压：0.1-30 kV

束流强度：1 pA-100 nA

探测器：二次电子探测器

样品台：5轴马达驱动

应用范围

适用于分析和观察样品表面及近表面形貌及结构。