仪器简介

台阶高度测试范围5 nm至1 mm；微力恒力控制：0.03 mg至50 mg；样品全直径扫描，无需图像拼接。

应用范围

探针式轮廓仪可以对材料表面的膜厚、台阶高度、粗糙度、翘曲度以及应力进行2D和3D测量，其扫描可达150 mm而无需图像拼接。广泛应用于半导体、微电子、MEMS、光学、材料科学、精密制造和质量控制等众多高科技产业和科研领域。