仪器简介

最大扫描范围＞10 mm；RMS重复性＜0.03 nm；横向分辨率最低0.38 μm；垂直精度<0.75%；最大扫描速度73 μm/sec；样品反射率0.05%- 100%；样品台尺寸150 mm×150 mm；探测头最大倾斜度±5°，可选物镜2.5x、5x、10x、50x；可选目镜0.55x、1x、2x。

应用范围

对材料表面进行超高精度的三维表面形貌、关键尺寸（台阶高度、沟槽深度、粗糙度、翘曲度等）以及薄膜厚度的非接触式测量和表征，广泛应用于半导体、微电子、MEMS、光学、材料科学、精密制造和质量控制等众多高科技产业和科研领域。